DRK8090 โฟโตอิเล็กทริคโปรไฟล์

เครื่องมือนี้ใช้วิธีการวัดอินเทอร์เฟอโรเมตริกแบบเปลี่ยนเฟสแบบเปลี่ยนเฟสแบบไม่สัมผัส ไม่ทำลายพื้นผิวของชิ้นงานในระหว่างการวัด สามารถวัดกราฟิกสามมิติของภูมิประเทศไมโครพื้นผิวของชิ้นงานต่างๆ ได้อย่างรวดเร็ว และวิเคราะห์และคำนวณการวัด ผลลัพธ์.

รายละเอียดสินค้า
คุณสมบัติ: เหมาะสำหรับการวัดความหยาบผิวของบล็อกเกจและชิ้นส่วนออปติคอลต่างๆ ความลึกของเส้นเล็งของไม้บรรทัดและหน้าปัด ความหนาของการเคลือบโครงสร้างร่องตะแกรงและสัณฐานวิทยาของโครงสร้างของขอบเขตการเคลือบ พื้นผิวของดิสก์แม่เหล็ก (ออปติคอล) และการวัดโครงสร้างหัวแม่เหล็ก ความหยาบผิวเวเฟอร์ซิลิคอนและการวัดโครงสร้างรูปแบบ ฯลฯ
เนื่องจากเครื่องมือมีความแม่นยำในการวัดสูง จึงมีลักษณะเฉพาะของการวัดแบบไม่สัมผัสและสามมิติ และใช้การควบคุมด้วยคอมพิวเตอร์และการวิเคราะห์และการคำนวณผลการวัดอย่างรวดเร็ว เครื่องมือนี้เหมาะสำหรับหน่วยวิจัยการทดสอบและการวัดทุกระดับ ห้องวัดระดับองค์กรอุตสาหกรรมและเหมืองแร่ เวิร์กช็อปการประมวลผลที่แม่นยำ และยังเหมาะสำหรับสถาบันการศึกษาระดับสูงและสถาบันวิจัยทางวิทยาศาสตร์ ฯลฯ
พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลัก
ช่วงการวัดความลึกไม่สม่ำเสมอของพื้นผิวด้วยกล้องจุลทรรศน์
บนพื้นผิวที่ต่อเนื่อง เมื่อไม่มีความสูงอย่างฉับพลันการเปลี่ยนแปลงที่มากกว่า 1/4 ความยาวคลื่นระหว่างสองพิกเซลที่อยู่ติดกัน: 1,000-1 นาโนเมตร
เมื่อมีการกลายพันธุ์ของความสูงมากกว่า 1/4 ของความยาวคลื่นระหว่างสองพิกเซลที่อยู่ติดกัน: 130-1 นาโนเมตร
ความสามารถในการทำซ้ำของการวัด: δRa ≤0.5nm
กำลังขยายเลนส์ใกล้วัตถุ: 40X
รูรับแสงตัวเลข: Φ 65
ระยะการทำงาน: 0.5 มม
มุมมองเครื่องมือภาพ: Φ0.25มม
ภาพถ่าย: 0.13×0.13 มม
ภาพกำลังขยายของเครื่องมือ: 500×
ภาพถ่าย(สังเกตจากจอคอมพิวเตอร์)-2500×
อาร์เรย์การวัดตัวรับ: 1000X1000
ขนาดพิกเซล: 5.2×5.2µm
เวลาในการวัดเวลาในการสุ่มตัวอย่าง (สแกน): 1S
การสะท้อนของกระจกมาตรฐานของเครื่องมือ (สูง): ~ 50%
การสะท้อน (ต่ำ): ~ 4%
แหล่งกำเนิดแสง: หลอดไส้ 6V 5W
ความยาวคลื่นของตัวกรองการรบกวนสีเขียว: แลมบ์ดา 530 นาโนเมตร
ความกว้างครึ่งหนึ่ง แล≒10นาโนเมตร
ระยะยกกล้องจุลทรรศน์หลัก: 110 มม
ระยะยกโต๊ะ: 5 มม
ช่วงการเคลื่อนที่ในทิศทาง X และ Y: ~ 10 มม
ช่วงการหมุนของโต๊ะทำงาน: 360°
ช่วงการเอียงของโต๊ะทำงาน: ±6°
ระบบคอมพิวเตอร์: P4, 2.8G หรือมากกว่า, จอแบนขนาด 17 นิ้วพร้อมหน่วยความจำ 1G หรือมากกว่า